近日，年產(chǎn)100噸半導(dǎo)體無(wú)塵車間高端光刻材料項(xiàng)目奠基儀式在合肥市新站高新區(qū)舉行，投產(chǎn)后將實(shí)現(xiàn)光刻膠關(guān)鍵材料的本地化供應(yīng)對(duì)新站區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展具有重要意義。
該項(xiàng)目位于新站高新區(qū)潁州路與龍子湖路交口，占地面積共50畝，總投資3億元，旨在打造國(guó)內(nèi)最大的高端半導(dǎo)體DUV級(jí)別(ArF/KrF)的光刻膠核心主材料量產(chǎn)基地。產(chǎn)品包括光致產(chǎn)酸劑PAG、BARC層樹(shù)脂Resin、光引發(fā)劑PI等，同時(shí)也提供每個(gè)最終產(chǎn)品的中間體及核心單體材料，規(guī)劃建設(shè)年產(chǎn)能100噸，將于年底竣工并投入使用。
近年來(lái)，新站高新區(qū)持續(xù)培養(yǎng)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，從“屏”開(kāi)始，從“芯”出發(fā)，逐漸形成了“2+5”產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系。
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